三坐标测量机一般都采用气浮轴承，因此需要压缩空气。三坐标测量机对气源有要求，压缩空气的质量直接影响三坐标测量机的正常工作及使用寿命，因此气源处理，就显得尤为重要。
 

　　三坐标测量机对气源要求如下：

　　供气量：100升/分

　　供气压力：0.49—0.58MPa

　　压缩空气温度：20℃±5℃

　　压缩空气湿度：不大于15%

　　压缩空气过滤精度1um，压缩空气湿度太大将引起空气轴承锈蚀，含有颗粒杂质将导致空气轴承小孔堵塞。

　　一般来说，三坐标测量机的气源的杂主要是由系统外部通过空压机等吸入的杂质、系统内部产生的杂质和系统安装和维修时产生的杂质;

　　从空压机输出的压缩空气中，含有大量的水分，油分和粉尘等杂质，必须适当的清除这些杂质，以避免他们对气动系统的正常工作造成的危害;

　　变质油分的粘度增大，从液态铸件固态化而形成油泥，这样会堵塞气浮块的气孔，造成气动元件内的相对运动件的动作不灵活。水分会腐蚀金属零件，管道内滞留冷凝水，会导致流量不足，压力损失增大。铁屑和粉尘使运动部件磨损，造成元件动作不良，粉尘会加速密封件损伤，导致漏气。

　　空气质量不良也是气动系统出现故障的主要的因素，使气动系统的可靠性和使用寿命大大降低。因此，三坐标测量机一般都配备气源处理组件，进行压缩空气的净化处理。